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第十六章 旋涂(2/2)

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覆盖满整个基片。

接着按下启动键,匀胶机自动开启真空泵,并按照预设的参数运行,待平台完全停止转动后,自动关闭真空泵。

又是一个类似于超声波清洗仪的傻瓜式机器。

许秋用镊子夹起旋涂好的基片,仔细检查,发现旋涂的非常完美,蓝紫色的薄膜覆盖了整个基片,而且薄膜表面光滑,没有孔洞。

将基片放回原培养皿,继续夹起下一片。

重复旋涂12次后,11片完美,仅有一片略有瑕疵,只涂上了四分之三的面积。

许秋将有瑕疵的那片丢入旧基片盒子中。

接下来,是热退火步骤。

对于pss薄膜来说,退火的主要作用是除掉其中残留的水分,所以只需要温度比水的沸点稍高即可。

许秋将旋涂好的基片连带着培养皿,置于设定温度为130摄氏度的加热台上,然后按下秒表进行计时。

一般需要30分钟以上。

等待时间较长,许秋回到办公桌,打算喝口水,休息一会儿。

突然,旁边的学姐冷不丁的问了一句:“许秋,你对未来有什么打算呀?”

许秋差点把喝到嘴里的水喷出来。

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状态提示:第十六章 旋涂
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